1. Czystość
Czystość celu rozpylania powinna wynosić co najmniej 99,95 procent. Im wyższa czystość, tym lepsze działanie napylonej warstwy.
2. Gęstość
Względna gęstość celu rozpylania powinna być większa niż 98 procent. Cel o większej gęstości może zmniejszyć rozpryskiwanie cząstek filmu podczas procesu powlekania, poprawiając w ten sposób jakość filmu.
3. Struktura ziarna
molibden celem rozpylania jest struktura polikrystaliczna. Podczas rozpylania atomy docelowe są łatwo rozpylane wzdłuż najbardziej ułożonego kierunku atomów heksagonalnych. Aby osiągnąć maksymalną szybkość rozpylania, konieczne jest zwiększenie szybkości rozpylania poprzez zmianę struktury krystalicznej celu.
4. Wielkość ziarna
Wielkość ziarna może wahać się od mikronów do milimetrów. Szybkość napylania tarczy z drobnym ziarnem jest większa niż tarczy z gruboziarnistym ziarnem, a rozkład grubości osadzonej warstewki jest również stosunkowo jednorodny dla tarczy z małą różnicą wielkości ziaren.
5. Wiązanie tarczy i podwozia
Przed napylaniem cel powinien być podłączony do obudowy z miedzi beztlenowej, aby zapewnić dobrą przewodność cieplną między celem a obudową. Po związaniu należy przeprowadzić kontrolę ultradźwiękową, aby upewnić się, że obszar niewiążący tych dwóch jest mniejszy niż 2 procent, aby spełnić wymagania rozpylania o dużej mocy.
